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鈦鋁合金靶材

 
公司生產(chǎn)的鈦鋁靶材采用先進(jìn)的真空熱壓、熱等靜壓工藝生產(chǎn)，產(chǎn)品包括矩形靶、圓弧靶和大長徑比整體成形管靶等類型，具有成分比例范圍寬（鋁含量為10at%~90at%）、純度和密度高、晶粒細(xì)小均勻、使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。鈦鋁靶材典型的成分比例有33:67at%、50:50at%、30:70at%、70:30at%、20:80at%、40:60at%、50:50at%等，也可按照客戶要求定制Ti-Al-X（X=Si、Cr、Y、B、V）等特殊成分和規(guī)格的靶材。廣泛應(yīng)用于工具表面高硬質(zhì)膜層鍍膜

部分鈦鋁靶性能參數(shù)

化學(xué)成分/at%		Ti33Al67	Ti50Al50	Ti70Al30
純度/%		99.8	99.8	99.8
密度/g/cm3		≥3.29	≥3.60	≥3.95
晶粒度/μm Grain size		≤100	≤100	≤100
金屬雜質(zhì)總和/ppm		≤2000	≤2000	≤2000
熱導(dǎo)率/W/m.K		98	70	40
熱膨脹系數(shù)/1/K		1.9×10-5	1.75×10-5	1.35×10-5
規(guī)格尺寸/mm	平面靶	≤1500×500	≤1500×500	≤1500×500
	旋轉(zhuǎn)靶	熱等靜壓整體成形， 長度Length≤2000， 厚度Thickness≤15	熱等靜壓整體成形， 長度Length≤2000， 厚度Thickness≤15	熱等靜壓整體成形， 長度Length≤2000 厚度Thickness≤15

 

TiAl (20:80at%)

成分(elements)	鈦(Ti)	鋁（Al）	硅(Si)	鐵（Fe）	鎂(Mg)	銅(Cu)	錳（Mn)	碳(C)	氯（Cl）	氧(O)	氮(N)
測 試 值（wt%)       （Test values）	30.67	69.01	0.075	0.085	0.03	0.002	0.004	0.015	0.013	0.095	0.0026
密度（g/cm3）（Density)	3.08

TiAl (30:70at%)

成分(elements)	鉻(Cr)	鋁（Al）	硅(Si)	鐵（Fe）	鎂(Mg)	銅(Cu)	錳（Mn)	碳(C)	氯（Cl）	氧(O)	氮(N)
測 試 值（wt%)       （Test values）	43.1	56.4	0.066	0.075	0.03	0.002	0.008	0.016	0.013	0.095	0.003
密度（g/cm3）（Density)	3.24

TiAl (33:67at%)

成分(elements)	鉻(Cr)	鋁（Al）	硅(Si)	鐵（Fe）	鎂(Mg)	銅(Cu)	錳（Mn)	碳(C)	硫（S）	氧(O)	氮(N)
測 試 值（wt%)       （Test values）	46.3	53.2	0.066	0.075	0.03	0.002	0.008	0.016	0.013	0.095	0.003
密度（g/cm3）（Density)	3.29

TiAl (40:60at%)

成分(elements)	鉻(Cr)	鋁（Al）	硅(Si)	鐵（Fe）	鎂(Mg)	銅(Cu)	錳（Mn)	碳(C)	硫（S）	氧(O)	氮(N)
測 試 值（wt%)       （Test values）	54.2	45.5	0.075	0.085	0.03	0.002	0.004	0.015	0.013	0.062	0.0026
密度（g/cm3）（Density)	3.39

TiAl (50:50at%)

成分(elements)	鉻(Cr)	鋁（Al）	硅(Si)	鐵（Fe）	鎂(Mg)	銅(Cu)	錳（Mn)	碳(C)	硫（S）	氧(O)	氮(N)
測 試 值（wt%)       （Test values）	63.7	35.9	0.075	0.085	0.03	0.002	0.004	0.015	0.013	0.095	0.0026
密度（g/cm3）（Density)	3.61

TiAl (60:40at%)

成分(elements)	鉻(Cr)	鋁（Al）	硅(Si)	鐵（Fe）	鎂(Mg)	銅(Cu)	錳（Mn)	碳(C)	硫（S）	氧(O)	氮(N)
測 試 值（wt%)       （Test values）	72.49	27.13	0.075	0.085	0.03	0.002	0.004	0.015	0.013	0.095	0.0026
密度（g/cm3）（Density)	3.79

TiAl (70:30at%)

成分(elements)	鉻(Cr)	鋁（Al）	硅(Si)	鐵（Fe）	鎂(Mg)	銅(Cu)	錳（Mn)	碳(C)	硫（S）	氧(O)	氮(N)
測 試 值（wt%)       （Test values）	80.27	19.35	0.075	0.085	0.03	0.002	0.004	0.015	0.013	0.095	0.0026
密度（g/cm3）（Density)	3.96

 
我司默認(rèn)鈦鋁系列合金靶材包括：
Ti10% Al90%; Ti20% Al80%; Ti25% Al75%; Ti30% Al70%;
Ti33% Al67%; Ti50% Al50%; Ti67% Al33%.
其中高鋁含量的 Ti30%Al70%;Ti33%Al67%; Ti50%Al50%等，其它配比可根據(jù)您的要求定制。