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合金靶材

硅鋁合金靶材

產(chǎn)品簡述:

公司生產(chǎn)的硅鋁靶材采用先進(jìn)的熱等靜壓工藝和熱噴涂工藝生產(chǎn),產(chǎn)品包括矩形靶、圓弧靶和管靶等類型,具有成分比例范圍寬(鋁含量為10at%~90at%)、純度和密度高、晶粒細(xì)小均勻、

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產(chǎn)品詳細(xì)

公司生產(chǎn)的硅鋁靶材采用先進(jìn)的熱等靜壓工藝和熱噴涂工藝生產(chǎn),產(chǎn)品包括矩形靶、圓弧靶和管靶等類型,具有成分比例范圍寬(鋁含量為10at%~90at%)、純度和密度高、晶粒細(xì)小均勻、使用壽命長等優(yōu)點(diǎn)。硅鋁靶材典型的成分比例有90:10wt%、70:30wt%等,也可按照客戶要求定制特殊成分和規(guī)格靶材。

 

硅鋁靶

Silicon-aluminum target

性能

Product performance

化學(xué)成分/at%

Composition

   Si90Al10

Si70Al30

純度/%

Purity

99.8

99.8

密度/g/cm3

Density

 ≥2.31

≥2.41

晶粒度/μm

Grain size

≤100

≤100

金屬雜質(zhì)總和/ppm

Total content of metallic impurities

≤2000

≤2000

規(guī)格尺寸/mm

Size

平面靶

Planar target

熱等靜壓

Hot isostatic pressing

≤1000×250

熱等靜壓

Hot isostatic pressing

≤1000×250

旋轉(zhuǎn)靶

Rotating target

熱噴涂成形

thermal spraying

長度Length≤4000

厚度Thickness≤15

熱噴涂成形

thermal spraying

長度Length≤4000

厚度Thickness≤15

SiAl (90:10 wt%)

成分(elements)

硅(Si)

鋁(Al)

鐵(Fe)

銅(Cu)

錳(Mn)

碳(C)

鈣(Ca)

氧(O)

氮(N)

測 試 值(wt%)       (Test values)

90.19

9.66

≤0.074

0.002

0.002

0.04

0.002

≤0.04

0.04

密度(g/cm3)(Density)

2.36

SiAl (70:30 wt%)

成分(elements)

硅(Si)

鋁(Al)

鐵(Fe)

銅(Cu)

錳(Mn)

碳(C)

鈣(Ca)

氧(O)

氮(N)

測 試 值(wt%)       (Test values)

70.81

28.93

≤0.071

0.002

0.002

0.04

0.002

≤0.05

0.04

密度(g/cm3)(Density)

2.42

 

 

公司生產(chǎn)的典型硅鋁系列合金靶材包括:

Si10% Al90%; Si20% Al80%; Si30% Al70%;

Si33%Al67%; Si50%Al50%; Si70% Al30%;

Si80% Al20%; Si90% Al10%; Si95% Al5%;

硅鋁合金靶材合金成分范圍從 Si 含量 5%到 95%任意配比都可生產(chǎn)。可確保靶材純度>99.9%,相對密度>99%,硅相尺寸<100 微米,品質(zhì)可靠,配比和規(guī)格可根據(jù)您的要求定制。

 

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