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一、什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？

  綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。
  1.壓接：采用壓條，一般為了提高接觸的良好性，會增加石墨紙、Pb或In皮；
  2.釬焊：一般使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/cm2，釬料常用In、Sn、In-Sn；我司采用銦焊綁定技術(shù)。
  3.導(dǎo)電膠：采用的導(dǎo)電膠要耐高溫，厚度在0.02-0.05um

二、綁定的適用范圍

  技術(shù)上來說表面平整可進(jìn)行金屬化處理的靶材都可以用我司銦焊綁定技術(shù)綁定銅背靶來提高濺射過程的散熱性、提高靶材利用率。
建議綁定的靶材：
  ITO、SiO2、陶瓷脆性靶材及燒結(jié)靶材；
  錫、銦等軟金屬靶；
  靶材太薄、靶材太貴的情況等。
但下列情況綁定有弊端：
  1.熔點低的靶材，像銦、硒等，金屬化的時候可能會變軟變形；
  2.貴金屬靶材，一是實際重量易出現(xiàn)分歧，二是金屬化以及解綁的時候都會有浪費料，建議墊一片銅片。

三、背靶的選擇

對材質(zhì)的要求：一般選用無氧銅和鉬靶，厚度在3mm左右
導(dǎo)電性好：常用無氧銅，無氧銅的導(dǎo)熱性比紫銅好；
強(qiáng)度足夠：太薄，易變形，不易真空密封。
結(jié)構(gòu)要求：空心或者實心結(jié)構(gòu)；
厚度適中：3mm左右，太厚，消耗部分磁強(qiáng)；太薄，容易變形。

四、銦焊綁定的流程

1.綁定前的靶材和背板表面預(yù)處理
2.將靶材和背板放置在釬焊臺上，升溫到綁定溫度
3.做靶材和背板金屬化
4.粘接靶材和背板
5.調(diào)整粘接位置
6.降溫和后處理
銦焊的熔化溫度是160°以上