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陶瓷靶材背靶脫落原因及使用的注意事項(xiàng)
時(shí)間:2019-01-17 11:51:39 作者:admin
一、什么是靶材綁定?靶材綁定的適用范圍、流程?
1.濺射溫度高,無(wú)氧銅易被氧化和發(fā)生翹曲,靶材在高溫濺射時(shí)會(huì)開(kāi)裂,造成背靶脫落;
2.電流太大,導(dǎo)熱太快造成溫度過(guò)高,焊料熔化,造成焊料不均勻,脫落;
3.循環(huán)冷卻水出水口的溫度應(yīng)低于35度,循環(huán)水溫度高,造成散熱不好而脫落;
4.綁定的氣含量;
5.靶材本身的致密度,靶材的致密度很高時(shí),不易吸附,無(wú)空隙,背靶易脫落。
二、防止背靶脫落的注意事項(xiàng)
1.濺射溫度不宜太高;
2.電流要緩慢加大;
3.循環(huán)水應(yīng)低于35°;
4.適宜的靶材致密度。
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