鈮靶材
用途:鈮及鈮合金靶材主要應(yīng)用于表面工程材料,如船舶、化工、液晶顯示器(LCD)以及耐熱、耐腐蝕高導(dǎo)電等鍍膜行業(yè),薄膜太陽能工業(yè),低輻射玻璃工業(yè),平板顯示工業(yè),光學(xué)鍍膜工業(yè),工具及裝飾鍍膜工業(yè)。
純度:99.9%,99.95%,99.99%
規(guī)格:
方形靶材:長度(200mm~2500mm)x寬度(10mm~1000mm)x厚度(1mm~25mm)
圓靶材:直徑Φ(25mm~800mm)x厚度(3mm~28mm)
鈮旋轉(zhuǎn)靶采用真空熔煉工藝,可生產(chǎn)最大長度4000mm,厚度根據(jù)客戶要求定制。
鈮平面靶采用真空熔煉工藝,可生產(chǎn)最大長度2500mm,最大寬度400mm,尺寸可根據(jù)客戶要求加工。
再結(jié)晶:95%最少;
表面粗糙度 : Ra 0.4;
晶粒度: 40μm;
鈮靶材化學(xué)成分表一:
牌號 |
主要成份 |
其它雜質(zhì) 最大% |
Nb |
Fe |
Si |
Ni |
W |
Mo |
Ti |
Ta |
O |
C |
H |
N |
Nb1 |
剩余 |
0.004 |
0.004 |
0.002 |
0.005 |
0.005 |
0.002 |
0.07 |
0.015 |
0.0040 |
0.0015 |
0.003 |
Nb2 |
剩余 |
0.01 |
0.01 |
0.005 |
0.02 |
0.01 |
0.004 |
0.10 |
0.02 |
0.01 |
0.0015 |
0.008 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
鈮靶材化學(xué)成分表二:
牌號 |
化學(xué)成分:PPM,不大于 |
Fe |
Si |
Mo |
W |
Ti |
Cr |
Ta |
Ni |
O |
C |
H |
N |
(Nb+Ta)%≥ |
Nb3 |
20 |
20 |
80 |
100 |
10 |
10 |
1000 |
20 |
250 |
100 |
15 |
150 |
99.9% |
Nb2 |
10 |
10 |
50 |
50 |
5 |
5 |
500 |
10 |
200 |
50 |
10 |
100 |
99.95% |
Nb1 |
5 |
5 |
10 |
20 |
1 |
1 |
100 |
1 |
100 |
30 |
10 |
50 |
99.99% |
物理性能:
標(biāo)準(zhǔn)號 |
抗拉強(qiáng)度,最小最 磅 /英寸2(兆帕) |
屈服強(qiáng)度(0.2%的殘余變形)最小,磅/英寸2 (兆帕) |
伸長率, 最小,%
1英寸(25.4毫米)標(biāo)距 |
RO4200-1
RO4210-2 |
18000 (125) |
12000 (85) |
25 |
方靶材尺寸、公差(毫米,不大于)
厚度 |
厚度公差 |
寬度 |
寬度公差 |
長度 |
長度公差 |
一級 |
二級 |
3~8 |
±0.1 |
±0.2 |
50~400 |
±0.2 |
50~1800 |
±0.2 |
8~14 |
±0.1 |
±0.2 |
50~350 |
±0.2 |
50~1500 |
±0.2 |
≥14 |
±0.1 |
±0.2 |
50~300 |
±0.2 |
50~1200 |
±0.2 |
圓靶材尺寸、公差(毫米,不大于)
厚度 |
厚度公差 |
直徑 |
直徑公差 |
一級 |
二級 |
3~8 |
±0.1 |
±0.2 |
50~450 |
±0.2 |
8~14 |
±0.1 |
±0.2 |
50~450 |
±0.2 |
≥14 |
±0.1 |
±0.2 |
50~400 |
±0.2 |