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純金屬單質(zhì)靶材

鈦靶材

產(chǎn)品簡述:

鈦靶材 純度: 99.7%-99.999% (如 2N8 , 2N6 , 4N , 5N ) 牌號: TA1 , TA2 , TA3 , TC4(Ti6AL4V) , GR1 , GR2 , GR3 , GR5( Ti6AL4V) 鈦圓靶 :技術(shù)條件:符合 GB/T2695-1996 , ASTMB348-97 鈦板靶 :技術(shù)

13365870915(微信同號)
產(chǎn)品詳細(xì)

鈦靶材

純度:99.7%-99.999%(如2N82N6,4N,5N

牌號: TA1,TA2TA3,TC4(Ti6AL4V),GR1,GR2,GR3,GR5( Ti6AL4V)   

鈦圓靶 :技術(shù)條件:符合GB/T2695-1996,ASTMB348-97  

鈦板靶 :技術(shù)條件:符合GB/T3621-94,ASTM B265-93 

用途:用于半導(dǎo)體分離器件、平面顯示器、儲存器電極薄膜、濺射鍍膜、工件表面涂層、玻璃鍍膜工業(yè)、薄膜太陽能工業(yè)、節(jié)能玻璃工業(yè)、光學(xué)鍍膜工業(yè)、工具及裝飾鍍膜工業(yè)等。

 

常規(guī)尺寸規(guī)格:

圓靶:常用規(guī)格:直徑60/65/95/100*30/32/40/45mm
板靶:(8-25)mm * (150-400) mm * (1000-2500)mm

鈦旋轉(zhuǎn)靶采用真空熔煉工藝,可生產(chǎn)最大長度4000mm,厚度根據(jù)客戶要求定制。

鈦平面靶采用真空熔煉工藝,可生產(chǎn)最大長度2500mm,最大寬度400mm,尺寸可根據(jù)客戶要求加工。

 

性能標(biāo)準(zhǔn)

化學(xué)成分符合 GB/T 3621-2007,GB/T 2965-2007,GB/T 3625-2007 等標(biāo)準(zhǔn)。

標(biāo)準(zhǔn)值

化學(xué)成分參考標(biāo)準(zhǔn)

牌號

Al

V

N≤

C≤

H≤

Fe≤

O≤

其他元素(單一)

其他元素(總和)

TA1

 

 

0.03

0.08

0.015

0.20

0.18

0.1

0.40

TA2

 

 

0.03

0.08

0.015

0.30

0.25

0.1

0.40

TC4

5.5-6.75

3.5-4.5

0.05

0.08

0.015

0.30

0.20

0.1

0.40

 

機(jī)械性能參考標(biāo)準(zhǔn)

牌號

室溫下力學(xué)性能,不小于

抗拉強(qiáng)度

屈服強(qiáng)度

伸長率

斷面收縮率

TA1

240 MPa

170MPa

25%

30%

TA2

345MPa

275 MPa

20%

30%

TC4

895MPa

825 MPa

10%

20%

 

其它靶材:

產(chǎn)品名稱

化學(xué)符號

含量

性質(zhì)

鈦濺射靶材

Ti

2N6,4N,5N

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鎳濺射靶材

Ni

2N5, 3N

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鋯濺射靶材

Zr

2N5

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鎢濺射靶材

W

3N5

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鉬濺射靶材

Mo

3N5

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鉭濺射靶材

Ta

3N5, 4N

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鈮濺射靶材

Nb

3N5, 4N

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

銅濺射靶材

Cu

3N8

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鋁濺射靶材

Al

4N

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鈦鋁合金濺射靶材

Ti + Al

2N7

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鉬鈮合金濺射靶材

Mo+Nb

3N5

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鎢鉬合金濺射靶材

W+Mo

3N5

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鈮鎢合金濺射靶材

Nb521

3N5

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鈮鈦合金濺射靶材

Nb+Ti

2N5

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

鈮鋯合金濺射靶材

Nb+Ti

2N5

平面靶材,旋轉(zhuǎn)靶材

 

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