晶體結(jié)構(gòu)
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單斜
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晶格常數(shù)
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a=5.176 Å、b=5.307 Å、c=7.355 Å
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密 度
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5.37g/cm3
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熔點
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1870℃
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介電常數(shù)
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16-20
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熱膨脹系數(shù)
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2-10×10-6//k
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尺寸
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10x3,10x5,10x10,15x15,20x15,20x20,dia30mm
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厚度
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0.5mm,1.0mm
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拋光
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單面或雙面
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晶面定向精度:
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(100)(010)(001)±0.5°
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邊緣定向精度:
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2°(特殊要求可達1°以內(nèi))
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斜切晶片
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可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
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Ra:
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≤5Å(5µm×5µm)
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包裝
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100級潔凈袋,1000級超凈室
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