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高溫超導(dǎo)薄膜基片

鋁酸鑭(LaAlO3)單晶基片

產(chǎn)品簡述:

鋁酸鑭(LaAlO3)單晶是當(dāng)前最重要的工業(yè)化、大尺寸高溫超導(dǎo)薄膜基片單晶材料。它用提拉法生長,可以得到直徑2英吋及更大的單晶和基片。它與YBaCuO等高溫超導(dǎo)材料和晶格匹配好,介電常數(shù)較低,微波損耗小,因而適于制作高溫超導(dǎo)微波電子器件(如遠(yuǎn)程通訊中的高溫超導(dǎo)微波濾波器等)。有巨大的現(xiàn)實及潛在的應(yīng)用前景。

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產(chǎn)品詳細(xì)
  鋁酸鑭(LaAlO3)單晶基片是當(dāng)前最重要的工業(yè)化、大尺寸高溫超導(dǎo)薄膜基片單晶材料。它用提拉法生長,可以得到直徑2英吋及更大的單晶和基片。它與YBaCuO等高溫超導(dǎo)材料和晶格匹配好,介電常數(shù)較低,微波損耗小,因而適于制作高溫超導(dǎo)微波電子器件(如遠(yuǎn)程通訊中的高溫超導(dǎo)微波濾波器等)。有巨大的現(xiàn)實及潛在的應(yīng)用前景。

鋁酸鑭(LaAlO3)單晶基片主要性能參數(shù)如下:

晶系
六方(常溫)
立方(>435℃)
晶格常數(shù)
六方a=5.357A   c=13.22 A
立方a=3.821 A
熔點(℃)
2080
密度
6.52(g/cm3)
硬度
6-6.5(mohs)
熱膨脹系數(shù)
9.4x10-6/℃
介電常數(shù)
ε=21
損耗正切(10ghz)
~3×10-4@300k,~0.6×10-4@77k
顏色及外觀
依退火狀況而不同,由棕黃色到褐色
拋光基片有自然孿晶疇
化學(xué)穩(wěn)定性
室溫下不溶于礦物酸,溫度大于150℃時可溶于h3po4
特點
適于微波電子器件
生長方法
提拉法
尺寸
10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
厚度
0.5mm,1.0mm
拋光
單面或雙面
晶向
<100>  <110>  <111>
晶面定向精度:
±0.5°
邊緣定向精度:
2°(特殊要求可達(dá)1°以內(nèi))
斜切晶片
可按特定需求,加工邊緣取向的晶面按特定角度傾斜(傾斜角1°-45°)的晶片
Ra:
≤5Å(5µm×5µm)
包裝
100級潔凈袋,1000級超凈室
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