晶體結(jié)構(gòu) | 面心立方 | ||
熔點(℃) | 1420 | ||
密度 | 2.4(g/cm3) | ||
摻雜物質(zhì) | 不參雜 | 摻B | 摻P |
類 型 | N或P | P | N |
電 阻 率 | >1000Ωcm | 10-3~40Ωcm | 102~104Ωcm |
E P D | ≤100∕cm2 | ≤100∕cm2 | ≤100∕cm2 |
氧含量(∕cm3) | ≤1~1.8×1018 | ≤1~1.8×1018 | ≤1~1.8×1018 |
碳含量(∕cm3) | ≤5×1016 | ≤5×1016 | ≤5×1016 |
尺寸 |
10×10mm、15×15mm、Dia50.8mm、Dia76.2mm、Dia100mm 可按照客戶需求,定制特殊方向和尺寸的基片 |
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厚度 | 0.3-0.5mm、1.0mm | ||
尺寸公差 | <±0.1mm | ||
厚度公差 | <±0.015mm特殊要求可達到<±0.005mm) | ||
拋光 | 單面或雙面 | ||
晶面定向精度 | ±0.5° | ||
邊緣定向精度 | 2°(特殊要求可達到1°以內(nèi)) | ||
取向 | <100>、<110>、<111>等 | ||
包裝 | 100級潔凈袋,1000級超凈室 |